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08:30 - 17:30 | 08:30 - 17:30 | 08:30 - 17:30 | 08:30 - 17:30 | 08:30 - 17:30 | X | X |
본 주사전자현미경은 전자를 이용하여 시료를 고배율까지 입체적으로 관찰할 수 있는 장비임.
<원리 및 특성>
고압으로 가속된 전자총(electrion gun)에서 방출된 전자 빔을 시료에 주사하며, 시료에서 발생하는 2차전자(SE)와 후방산란전자(BSE)를 수집하여 영상화 시키는 장비임.
유효 배율은 100,000x이며, 대형 챔버를 가지고 있어 비교적 큰 샘플의 분석 가능함.
또한 고가의 노멀 SEM에서 제공되는 NAVI CAM, Chamber CAM이 기본적으로 적용되어 있어 사용자의 편의성과 다양한 샘플 분석을 가능함.
1) Magnification : x20 ~ x300,000
2) Detector (SE,BSE)
3) Accelerating Voltage : 0.5~30 kV
4) Electron Gun (Tungsten filament)
5) Lens System (2Condenser, Conical Objective lens)
6) Objective Aperture (Hole size : 200 μm, 100 μm, 50 μm, 30 μm)
7) Image Shift (WD=10 mm, +/-20um )
8) Stage (X (50mm), Y (50mm), T (-20~45°), Z (4 to 50), R (360°)
9) Scanning Mode (Live scan, Photo scan)
10) image Format (BMP, JPEG, TIFF, PNG)
11) Display (2560 x 1440(QHD) / 24")
12) Working Distance (WD 4 mm ~ 50 mm)
13) Vacuum System (rotary pump, Turbo Molecular Pump)
시료 표면 및 미세구조 관찰, 파단면 등
표시되지 않은 시료전처리, 재료비 및 분석결과의 특별한 해석을 의뢰할 경우에 별도로 요금을 산정함
구분 | 항목 | 단위 | 외부 | 교내 | 기타 | 비고 |
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분석의뢰 |
분석료 | 30분 | 30,000 | 15,000 |