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주사전자현미경
Scanning Electron Microscope
  • 호실
    21B113호
  • 제조사(모델)
    모듈싸이 (PE-100)
  • 담당자
    박선화
  • 이메일
    shpark3454@hallym.ac.kr
  • 연락처
    033-248-3454
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신청가능 시간
08:30 - 17:30 08:30 - 17:30 08:30 - 17:30 08:30 - 17:30 08:30 - 17:30 X X
점심시간 이용불가 : 12:00 ~ 13:00
원리 및 특성

 

본 주사전자현미경은 전자를 이용하여 시료를 고배율까지 입체적으로 관찰할 수 있는 장비임.

 

<원리 및 특성>

고압으로 가속된 전자총(electrion gun)에서 방출된 전자 빔을 시료에 주사하며, 시료에서 발생하는 2차전자(SE)와 후방산란전자(BSE)를 수집하여 영상화 시키는 장비임.

유효 배율은 100,000x이며, 대형 챔버를 가지고 있어 비교적  큰 샘플의 분석 가능함.

또한 고가의 노멀 SEM에서 제공되는 NAVI CAM, Chamber CAM이 기본적으로 적용되어 있어 사용자의 편의성과 다양한 샘플 분석을 가능함.

 

규격

1) Magnification : x20 ~ x300,000
2) Detector (SE,BSE)
3) Accelerating Voltage : 0.5~30 kV
4) Electron Gun (Tungsten filament)
5) Lens System (2Condenser, Conical Objective lens)
6) Objective Aperture (Hole size : 200 μm, 100 μm, 50 μm, 30 μm)
7) Image Shift (WD=10 mm, +/-20um )
8) Stage (X (50mm), Y (50mm), T (-20~45°), Z (4 to 50), R (360°)
9) Scanning Mode (Live scan, Photo scan)
10) image Format (BMP, JPEG, TIFF, PNG)
11) Display (2560 x 1440(QHD) / 24")
12) Working Distance (WD 4 mm ~ 50 mm)
13) Vacuum System (rotary pump, Turbo Molecular Pump)

적용(응용)분야

시료 표면 및 미세구조 관찰, 파단면 등

사용료

표시되지 않은 시료전처리, 재료비 및 분석결과의 특별한 해석을 의뢰할 경우에 별도로 요금을 산정함

구분 항목 단위 외부교내기타 비고
분석의뢰
분석료 30분 30,00015,000


관련자료
  • 주사전자현미경 브로셔(PE-100).pdf


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